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在這種制造工藝中，硅晶圓在幾秒鐘或更短的時(shí)間內(nèi)被加熱到超過(guò) 1000°C 的溫度。這是通過(guò)使用高強(qiáng)度的激光器或燈作為熱源來(lái)實(shí)現(xiàn)的。然后，硅晶圓的溫度被慢慢降低，以防止因熱沖擊而可能發(fā)生的任何變形或破裂。從激活摻雜物到化學(xué)氣相沉積，快速熱處理的應(yīng)用范圍廣泛，這在我們之前的文章中討論過(guò)。 快速熱退火(RTA)是快速熱處理的一個(gè)子步驟。

金屬鋰晶枝眾所周知，利用磁場(chǎng)進(jìn)行Cu、Co、Ni、Ni-Mo和其他金屬的電沉積，可以明顯地細(xì)化金屬樹(shù)枝的微觀結(jié)構(gòu)和方向。鋰金屬陽(yáng)極的沉積/剝離過(guò)程與這些金屬的電沉積是一致的，而鋰枝晶的生長(zhǎng)是由電極表面的鋰離子濃度不均勻引起的，因此磁場(chǎng)的MHD效應(yīng)有助于解決這一問(wèn)題。Li+在磁場(chǎng)的作用下受到洛倫茲力的影響，促進(jìn)其螺旋式移動(dòng)并產(chǎn)生磁流體效應(yīng)。

建立平板式 SOFC 多物理場(chǎng)模型，將 COMSOL 多物理場(chǎng)數(shù)值模型計(jì)算得到的不均勻溫度場(chǎng)作為熱載荷施加到 ABAQUS 模型中，再基于 Wen-Tu 蠕變延性耗竭模型開(kāi)發(fā)了蠕變損傷子程序，研究平板式 SOFC 同流、逆流、交叉流道設(shè)計(jì)下的蠕變行為。